설명
제품 설명
질화 실리콘박막은 조밀 한 구조, 고강도 및 우수한 내마모성을 가지며 MEMS 장치의 구조적 구성 요소로 사용될 수 있습니다. 실리콘 질화물 필름의 젊은 모듈러스 및 경도는 PECVD 방법에 의해 테스트되었으며, 필름의 젊은 모듈러스 및 경도에 대한 증착 온도 및 반응 가스 흐름 비율의 영향을 분석 하였다. 실리콘 질화물 필름은 RF MEMS 스위치를 제조하기위한 서스펜션 빔으로 사용되었다.
제품 매개 변수
| 등급 | N | 시 | CA MIN | 오 분 | C 분 | 알민 | Fe Min |
| si3n 485-99 | 32-39 | 55-60 | 0.25 | 1.5 | 0.3 | 0.25 | 0.25 |
제품 협력 사진
1.질화 실리콘도자기는 광범위한 개발 전망을 가진 고온 및 고강도 구조적 세라믹입니다. 고성능 (예 : 고강도, 우수한 열 충격 안정성, 고 피로 강인함, 실온에서의 높은 굴곡 강도, 내마모성, 산화성, 내식성 등)을 가지고 있으며, 모든 생애에 널리 사용되었습니다. 질화 실리콘의 제조 방법은 주로 반응 소결 (RS), 열압 소결 (HP), 대기압 소결 (PLS) 및 공압 압력 소결 (GPS)을 포함한다. 현재, 주요 문제는 실리콘 질화물 세라믹 제품의 인성이 낮고 비용이 많이 든다는 것입니다. 앞으로는 밀링, 성형 및 소결 공정 및 질화물 및 실리콘 카바이드의 화합물을 개선하여 더 나은 실리콘 질화물 세라믹을 개발할 필요가있다.
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