제품 설명
초내마모 및 고투과율 제조방법지르코늄 타겟S1, 기판 세척, 기판 표면의 얼룩 제거 및 불어 건조 단계로 구성됩니다. S2. 청소된 기판을 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비에 넣고 스퍼터링 캐비티의 진공이 요구 사항을 충족하면 스퍼터링 캐비티를 베이킹하여 스퍼터링 캐비티의 불순물 분자를 배출합니다. S3. 베이킹 후, 고주파 전원 공급 장치, 아르곤 및 산소를 스퍼터링 가스로 사용하여 마그네트론 스퍼터링을 통해 지르코니아 필름을 기판에 증착합니다.
제품 매개변수
| 이름: 지르코늄 | 양성자/전자 수: 40 |
| 기호 : Zr | 중성자 수: 51 |
| 원자 번호: 40 | 분류: 전이금속 |
| 원자 질량: 91.224amu | 결정 구조: 육각형 |
| 녹는점: 1852.0도(2125.15도 K, 3365.6도 F) | Density @ 293 K: 6.49 g/cm3 |
| 끓는점: 4377.0도(4650.15도 K, 7910.6도 F) | 색깔: 회색빛 |
제품 협력 사진
1.과산소의 경우, 고출력 무선 주파수 스퍼터링을 사용하여지르코늄 타겟증착 과정에서 지르코니아를 얻기 위해 반응 가스와 완전히 반응할 수 있습니다. 고출력 스퍼터링은 지르코늄 원자의 초기 에너지가 높은 것을 보장할 수 있으며, 기판에 증착될 때 지르코니아 필름은 더 조밀하고 내마모성이 우수하며 더 나은 필름 기반 접착력을 보장할 수 있습니다. 지르코니아 필름의 두께를 제어할 수 있고 투과율 요구 사항을 충족하도록 공정을 정밀하게 제어할 수 있습니다. 무너지다. 기재를 세척하고, 기재 표면의 얼룩을 제거하고, 블로잉 건조하는 단계; 세척된 기판을 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비에 넣고 스퍼터링 공동의 진공이 요구 사항을 충족하면 스퍼터링 공동을 베이킹하여 스퍼터링 공동의 불순물 분자를 배출합니다. 소성 후 타겟물질로 지르코늄을 사용하고, 고주파 전력을 사용하고, 아르곤과 산소를 스퍼터링 가스로 하고, 마그네트론 스퍼터링을 통해 기판에 지르코니아막을 증착한다.
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