제품 설명
A 니오브 타겟오산화니오븀 분말과 니오븀 분말을 균일하게 혼합하고, 산소분위기 또는 공기분위기에서 600~800도에서 0.5~3시간 동안 소성하여 전처리된 물질을 얻는다. 가루; 전처리된 분말을 흑연 주형 내에서 차폐가스 분위기 하에서 0.5~1시간 동안 900~1200도에서 핫 프레싱 및 소결하여 산화니오븀 타겟을 얻었으며, 산화니오븀 타겟의 화학식은 Nb였다.
제품 매개 변수
| 주요성분 | |||||
| 모델 | NB | 철 | 시 | NI | |
| W | |||||
| Nb1 | 나머지 금액 | 0.004 | 0.004 | 0.002 | 0.005 |
| NB2 | 나머지 금액 | 0.01 | 0.01 | 0.005 | 0.02 |
제품 협력 사진
1.대형 제본용 금형니오브목표, 전면 및 뒷면으로 구성된 구리 플레이트를 포함하고; 구리 플레이트의 전면에는 키메라 홈이 제공되며 키메라 홈의 내부에는 복수의 니오 비움 산화물에 의해 스 플라이 싱 된 표적 재료가 포함되어; 금속 인듐 층은 대상 재료와 키메라 그루브의 홈 바닥 사이에 배열되며, 여기서 냉기 채널이 구리 플레이트의 뒷면에 형성되고 온도 센서가 냉기 채널 내부에 배열된다; 설명 된 온도 센서의 출력 끝은 PLC 컨트롤러와 연결됩니다. 간단한 구조, 저비용 및 편리한 유지 보수는 구리판에 배열 된 냉기 채널, 냉기 채널의 온도 센서 및 냉기 공기 냉각기 및 유도 된 초안 팬을 통해 대상의 더 큰 크기의 결합 요구 사항을 충족 할 수 있습니다. 냉기 채널에 연결하면 대상의 열 소산 효과가 개선되어 대상이 스퍼터링 공정에서 갈라 지거나 심지어 파손되는 것을 방지하고 스퍼터링에 영향을 미치는 경우; SET PLC 컨트롤러를 통해 열 소산 효과의 자동 제어를 실현할 수 있으며 자동화 정도가 높습니다.
인기 탭: 최고 재료 Niobium Target, China Top Material Niobium 대상 제조업체, 공급 업체, 공장